| 摘要 |
<p>접촉 상태 검출 방법은 제 1 저항막의 제 1 방향에 있어서의 양단간에 미리 정한 값의 전압을 인가하고 또한 제 2 저항막의 제 2 방향에 있어서의 양단 중의 한쪽 단을 개방한 제 1 상태에서, 상기 제 2 저항막의 상기 양단 중의 다른쪽 단에서의 전위를 제 1 전위로서 계측하는 제 1 스텝과, 상기 제 2 저항막의 상기 양단간에 상기 미리 정한 값의 전압을 인가하고 또한 상기 제 1 저항막의 상기 양단 중의 한쪽 단을 개방한 제 2 상태에서, 상기 제 1 저항막의 상기 양단 중의 다른쪽 단에서의 전위를 제 2 전위로서 계측하는 제 2 스텝과, 상기 제 1 저항막의 상기 한쪽 단과 상기 제 2 저항막의 상기 다른쪽 단의 사이를 단락하고 또한 상기 제 1 저항막의 상기 양단간에 상기 미리 정한 값의 전압을 인가한 제 3 상태에서, 상기 제 2 저항막의 상기 한쪽 단으로의 전위를 제 3의 전위로서 계측하는 제 3 스텝과, 상기 제 1 저항막의 상기 한쪽 단과 상기 제 2 저항막의 상기 한쪽 단의 사이를 단락하고 또한 상기 제 1 저항막의 상기 양단간에 상기 미리 정한 값의 전압을 인가한 제 4 상태에서, 상기 제 2 저항막의 상기 다른쪽 단에서의 전위를 제 4의 전위로서 계측하는 제 4 스텝과, 상기 제 1 전위, 상기 제 2 전위, 상기 제 3 전위 및 상기 제 4 전위에 의거하여, 상기 제 1 저항막이 상기 제 2 저항막에 대해 2점에서 접촉할 때의 상기 2점간의 거리 정보를 도출하는 제 5 스텝을 포함한다.</p> |
