发明名称 Forming Metal Nano Islands Using Low Temperature Dewetting Method With A Nano Patterned Template For Surface Enhanced Raman Spectroscopy
摘要 <p>저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법을 개시한다. 상기 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 극미세 패턴을 가지는 금속 나노 섬(Metal Nano Isalnds)의 형성 방법은 기판(10)을 제공하는 제1단계, 상기 기판(10) 상에 나노 레벨의 금속 박막(11)을 형성하는 제2단계, 상기 금속 박막(11) 상에 미세 나노 패턴이 형성된 고분자 주형(12)의 패턴 면을 접촉시킨 후, 열처리 공정을 수행하여 상기 금속 박막(11)에 비젖음성 현상을 유발시키는 제3단계 및 상기 고분자 주형(12)의 미세 패턴 형상으로 상기 금속 박막(11)의 금속 물질이 비젖음성되어 금속 나노 섬(Metal Nano islands)을 형성하는 제4단계를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101209701(B1) 申请公布日期 2012.12.10
申请号 KR20110017305 申请日期 2011.02.25
申请人 发明人
分类号 G01J3/44;H01L21/027 主分类号 G01J3/44
代理机构 代理人
主权项
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