处理基材的设备和方法

摘要

本发明提供一种处理基材的设备和方法，更具体而言，提供一种具有簇结构的基材处理设备和使用它的基材处理方法。所述的处理基材的设备包括其上放置用于收容所述基材的容器的装载口、用于处理所述基材的处理模块和转移模块，所述转移模块包括用于在所述容器和所述处理模块之间转移所述基材的机械手。所述处理模块包括转移室、设置在所述转移室和所述转移模块之间的装载锁闭室、用于进行第一处理工艺的第一处理室和用于进行第二处理工艺的第二处理室，所述转移室包括用于转移所述基材的机械手，第一处理室与所述转移模块间隔开并且设置在所述转移室周围，第二处理室设置在所述转移室周围。

主权项

一种处理基材的设备，所述设备包括：装载口，其上放置用于收容所述基材的容器；用于处理所述基材的处理模块；和转移模块，包括用于在所述容器和所述处理模块之间转移所述基材的机械手，其中所述处理模块包括：转移室，包括用于转移所述基材的机械手；设置在所述转移室和所述转移模块之间的装载锁闭室；用于进行第一处理工艺的第一处理室，它与所述转移模块间隔开并且设置在所述转移室周围；和用于进行第二处理工艺的第二处理室，它设置在所述转移室周围。