光电转换装置用基板及使用该基板的光电转换装置、以及它们的制造方法

摘要

本发明提供一种光电转换装置用基板及使用该基板的光电转换装置、以及它们的制造方法。光电转换装置（1）具有：基板（2）、以及覆盖基板（2）主表面的至少一部分且在接近于半导体层一侧的表面具有凹凸形状的透明导电膜（3），而且光电转换装置（1）具有：覆盖透明导电膜（3）凹凸形状的至少一部分的第一导电型半导体层（5）、以及覆盖第一导电型半导体层（5）的光吸收层（6）。凹凸形状具有最大高度为50nm以上、1200nm以下的凸部（10）。凸部（10）在表面上具有局部波峰（15A，15B）间隔为2nm以上、25nm以下的微小凹部（11）。在第一导电型半导体层（5）上，优选形成于微小凹部（11）的底部（26）上的层厚大于形成于该底部（26）以外其他位置上的层厚。优选第一导电型半导体层（5）与光吸收层（6）的界面的最大深度（Bmax）小于所述微小凹部的最大深度（Dmax）。

主权项

一种光电转换装置用基板，其特征在于，具有：基板（2）；覆盖所述基板（2）主表面的至少一部分、且在与所述基板（2）侧相反一侧的表面上具有凹凸形状的透明导电膜（3）；所述凹凸形状具有最大高度为50nm以上、1200nm以下的凸部（10）；所述凸部（10）在表面上具有局部波峰（15A，15B）间隔为2nm以上、25nm以下的微小凹部（11）。