发明名称 Behandlungslösung zur Verhinderung eines Musterzusammenbruchs in einem feinen Metallstrukturkörper und Verfahren zur Herstellung eines feinen Metallstrukturkörpers, bei dem diese eingesetzt wird
摘要 Es werden eine Verarbeitungsflüssigkeit zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs einer feinen Metallstruktur, die ein Mittel zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs enthält, das eine Hydrocarbylgruppe aufweist, die eine von einer Alkylgruppe und einer Alkenylgruppe enthält, die beide teilweise oder vollständig durch ein Fluoratom substituiert sein können, und das eine Oxyethylenstruktur enthält, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer feinen Metallstruktur, bei dem diese eingesetzt wird, bereitgestellt.
申请公布号 DE112010003836(T5) 申请公布日期 2012.11.22
申请号 DE20101103836T 申请日期 2010.10.19
申请人 MITSUBISHI GAS CHEMICAL CO., INC. 发明人 OHTO, MASARU;MATSUNAGA, HIROSHI;YAMADA, KENJI
分类号 G03F7/32;H01L21/027 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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