发明名称 |
Behandlungslösung zur Verhinderung eines Musterzusammenbruchs in einem feinen Metallstrukturkörper und Verfahren zur Herstellung eines feinen Metallstrukturkörpers, bei dem diese eingesetzt wird |
摘要 |
Es werden eine Verarbeitungsflüssigkeit zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs einer feinen Metallstruktur, die ein Mittel zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs enthält, das eine Hydrocarbylgruppe aufweist, die eine von einer Alkylgruppe und einer Alkenylgruppe enthält, die beide teilweise oder vollständig durch ein Fluoratom substituiert sein können, und das eine Oxyethylenstruktur enthält, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer feinen Metallstruktur, bei dem diese eingesetzt wird, bereitgestellt.
|
申请公布号 |
DE112010003836(T5) |
申请公布日期 |
2012.11.22 |
申请号 |
DE20101103836T |
申请日期 |
2010.10.19 |
申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEMICAL CO., INC. |
发明人 |
OHTO, MASARU;MATSUNAGA, HIROSHI;YAMADA, KENJI |
分类号 |
G03F7/32;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/32 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|