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经营范围
发明名称
METHOD FOR FORMING MULTILAYER FILM AND APPARATUS FOR FORMING MULTILAYER FILM
摘要
申请公布号
EP2103710(A4)
申请公布日期
2012.11.21
申请号
EP20070850705
申请日期
2007.12.17
申请人
ULVAC, INC.
发明人
KIMURA, ISAO;JINBO, TAKEHITO;KIKUCHI, SHIN;NISHIOKA, YUTAKA;SUU, KOUKOU
分类号
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;H01L41/187;H01L41/22
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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