发明名称 METHOD FOR FORMING MULTILAYER FILM AND APPARATUS FOR FORMING MULTILAYER FILM
摘要
申请公布号 EP2103710(A4) 申请公布日期 2012.11.21
申请号 EP20070850705 申请日期 2007.12.17
申请人 ULVAC, INC. 发明人 KIMURA, ISAO;JINBO, TAKEHITO;KIKUCHI, SHIN;NISHIOKA, YUTAKA;SUU, KOUKOU
分类号 C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;H01L41/187;H01L41/22 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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