| 发明名称 | 一种晶体生长炉及其安全排气阀 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板和密封图，所述盲板的一端与所述晶体生长炉的真空管道上的法兰铰接，所述密封图设置在所述盲板和所述法兰之间。本发明出现过充现象时，炉腔内的氧化物超细粉尘游走至密封图处，由于安全排气阀仅依靠盲板的自重进行密封，因此可轻易使得安全排气阀打开，而将氧化物超细粉尘放出，起到自然排压的目的。在真空腔体遇到打火损坏造成漏水，水在高温下蒸发后，安全排气阀会迅速排气。而且本发明清理真空管路十分方便，掀起盲板就可进行管路清洗，放下后自然封闭管路，开启真空后完全吸紧。本发明还公开了一种具有上述安全排气阀的晶体生长炉。 | ||
| 申请公布号 | CN102787363A | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201110132256.4 | 申请日期 | 2011.05.20 |
| 申请人 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 发明人 | 汤旋 |
| 分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种安全排气阀，用于晶体生长炉的排气，包括盲板(13)和密封图(14)，其特征在于，所述盲板(13)的一端与所述晶体生长炉的真空管道(11)上的法兰(12)铰接，所述密封图(14)设置在所述盲板(13)和所述法兰(12)之间。 | ||
| 地址 | 314117 浙江省嘉善县姚庄镇工业园区 | ||