发明名称 HEAT TREATMENT BY INJECTION OF A HEAT-TRANSFER GAS
摘要 La présente invention concerne le traitement thermique d'un précurseur réagissant avec la température, et comportant en particulier les étapes : préchauffer ou refroidir un gaz caloporteur à une température contrôlée, et injecter le gaz préchauffé ou refroidi sur le précurseur. Avantageusement, outre la température du gaz caloporteur (To), on contrôle aussi le débit du gaz (D) à l'injection sur le précurseur, ainsi qu'une distance (x) entre le précurseur et une sortie (5) d'injection du gaz sur le précurseur, pour contrôler finement la température du précurseur recevant le gaz injecté.
申请公布号 CA2834209(A1) 申请公布日期 2012.11.15
申请号 CA20122834209 申请日期 2012.05.03
申请人 ELECTRICITE DE FRANCE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS - 发明人 SAVIDAND, GREGORY;LINCOT, DANIEL
分类号 H01L21/67;H01L21/428;H01L31/032 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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