具有透镜旋转的光刻系统

摘要

本发明涉及基于带电粒子的光刻系统，该光刻系统用于利用多个带电粒子小射束将图像投影在目标上，以将所述图像转印至所述目标，所述系统包括带电粒子柱，该带电粒子柱包括：电子光学子配件，该电子光学子配件包括带电粒子源、准直器透镜、孔阵列、消隐装置以及用于生成多个带电粒子小射束的射束阑；和投影仪，该投影仪用于将所述多个带电粒子小射束投影在所述目标上；所述投影仪通过至少一个投影仪致动器而可移动地包括在该系统中，该投影仪致动器用于相对于所述电子光学子配件移动所述投影仪；所述投影仪致动器被包括以机械地致动所述投影仪，并且向所述投影仪提供移动的至少一个自由度；其中，所述自由度涉及绕该系统的光轴的移动。

主权项

一种基于带电粒子的光刻系统，该光刻系统用于利用多个带电粒子小射束将图像投影在诸如晶片的目标上，以将所述图像转印至所述目标，所述系统包括带电粒子柱，该带电粒子柱包括：电子光学子配件，该电子光学子配件包括带电粒子源、准直透镜、孔阵列、消隐装置以及用于生成多个带电粒子小射束的射束阑；和投影仪，该投影仪用于将所述多个带电粒子小射束投影在所述目标上，以形成图像；所述投影仪通过至少一个投影仪致动器可移动地包括在该系统中，该至少一个投影仪致动器用于相对于所述电子光学子配件移动所述投影仪；所述投影仪致动器被包括以机械地致动所述投影仪，并且向所述投影仪提供至少一个自由度的移动；其中，所述自由度涉及绕该系统的光轴的移动。