基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法

摘要

本发明提供基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法。基板保持件以架状保持多张基板，为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内，该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分，第一保持件部分和第二保持件部分分别具备：相互上下对置的顶板和底板；支柱，其沿着顶板和底板各自的周缘部而设置有多个，将该顶板与底板相互连结；保持部，其设置在多个支柱各自之中相互对应的位置，用于保持各基板的下表面，第一保持件部分和第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置，即：在第一保持件部分和第二保持件部分相互合体时，使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。

主权项

一种基板保持件，该基板保持件以架状保持多张基板，为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内，该基板保持件的特征在于，包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分，所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自具备：相互上下对置的顶板和底板；支柱，该支柱沿着所述顶板和所述底板各自的周缘部而设置有多个，将该顶板与底板相互连结；以及保持部，该保持部设置在所述多个支柱的各自之中相互对应的位置，用于保持各基板的下表面，所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置，即：在该第一保持件部分和第二保持件部分相互合体后，使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。