具有边缘增强效应的栅极场发射阴极结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种具有边缘增强效应的栅极场发射显示器中的阴极结构，该阴极结构具有阴极基板，阴极单元包括电子发射阴极材料层、栅极层以及介电层。其中，电子发射阴极材料层与栅极层共面地设置在阴极玻璃基板上，而且相互对应并用介电层隔开。通过在结构边缘会增加电场强度的电学特性，将条状电极与介电层的宽度比进行控制，使得阴极板上条状电极边缘露出，而最靠近玻璃基板的条状通过刻蚀玻璃的方式而露出，实现发射极和栅极的任意选择及调控。这样在发射源处构成具有边缘结构，以提高位于发射源处的电场，增强栅极调控作用，降低场发射阴极开启电场，提高场发射显示器件的阴极场发射性能，简化工艺程序，降低制造成本。

主权项

一种具有边缘增强效应的栅极场发射阴极结构，其特征在于，包括：一阴极基板，所述的阴极基板上刻蚀有相互平行间隔的凹槽，以形成发射阴极；设于该阴极基板表面的第一条状薄膜电极，该第一条状薄膜电极部分处于凹槽上；设于所述第一条状薄膜电极表面的第一条状绝缘介质，所述的第一条状绝缘介质的宽度比条状第一条状薄膜电极窄；设于所述第一条状绝缘介质表面的第二条状薄膜电极，所述的第二条状薄膜电极的宽度比所述的第一条状绝缘介质宽，其中，第一条状薄膜电极边缘可用于形成场发射源。