| 发明名称 | 垂直共振腔面射型激光及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种垂直共振腔面射型激光及其制作方法，垂直共振腔面射型激光，包含一基板以及一磊晶叠层。磊晶叠层形成于该基板上，且包含有一环状锌扩散区、一位于该锌扩散区下方的环状离子布植区、一位于离子布植区下方的环状氧化区，以及一位于该环状氧化区下方的主动区，其中，该锌扩散区具有一锌扩散通孔，该离子布植区具有一离子布植通孔，且该氧化区具有一氧化通孔，且该锌扩散通孔、该离子布植通孔与该氧化通孔相互连通。此外，本发明还提供一种上述垂直共振腔面射型激光的制作方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102738703A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201110084714.1 | 申请日期 | 2011.04.01 |
| 申请人 | 光环科技股份有限公司 | 发明人 | 陈志诚;陈柏翰;吴承儒;潘金山 |
| 分类号 | H01S5/183(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I | 主分类号 | H01S5/183(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;张燕华 |
| 主权项 | 一种垂直共振腔面射型激光，其特征在于，包含：一基板；以及一磊晶叠层，形成于该基板上，该磊晶叠层包含有一环状锌扩散区、一位于该锌扩散区下方的环状离子布植区、一位于离子布植区下方的环状氧化区，以及一位于该环状氧化区下方的主动区；其中，该锌扩散区具有一锌扩散通孔，该离子布植区具有一离子布植通孔，且该氧化区具有一氧化通孔，且该锌扩散通孔、该离子布植通孔与该氧化通孔为相互连通。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||