提高晶圆研磨均匀性的研磨头和研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种提高晶圆研磨均匀性的研磨头，包括下方带有限位环的研磨头本体，还包括一设置于所述研磨头上的限位环冷却装置。本实用新型还公开了一种提高晶圆研磨均匀性的研磨装置，包括研磨头、研磨平台以及研磨垫，所述研磨垫铺设于所述研磨平台上，所述研磨头设置于所述研磨垫上，所述研磨头采用如上所述的研磨头。本实用新型提供的提高晶圆研磨均匀性的研磨头和研磨装置，通过增设限位环冷却装置，可以在晶圆的研磨过程中对限位环的温度进行控制，使得晶圆在研磨过程中周边区域和中心区域的温度趋于一致，进而使得晶圆各个区域的研磨速率趋于一致，从而有效提高晶圆研磨均匀性，显著提高产品良率。

主权项

一种提高晶圆研磨均匀性的研磨头，包括下方带有限位环的研磨头本体，其特征在于，还包括一设置于所述研磨头上的限位环冷却装置。