发明名称 一种具有交叉光栅结构的发光二极管及其制备方法
摘要 本发明提供了一种具有交叉光栅结构的发光二极管及其制备方法,该发光二极管包括衬底(1),生长在衬底(1)上的具有第一光栅结构的介质薄膜层(2),与介质薄膜层(2)键合在一起的具有第二光栅结构的p型GaN外延层(3),生长在p型GaN外延层(3)上的InGaN多量子阱有源发光层(4)和生长在InGaN多量子阱有源发光层(4)上的n型GaN外延层(5),其中,第一光栅结构与第二光栅结构以0~90°之间的任一交叉角度键合在一起,构成交叉光栅结构。本发明有效提高发光二极管的出光效率,有利于进一步提高发光二级管的光提取效率和导热性能。
申请公布号 CN102709419A 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201210169975.8 申请日期 2012.05.29
申请人 东南大学 发明人 张雄;郭浩;韩乐;崔一平
分类号 H01L33/10(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/10(2010.01)I
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人 柏尚春
主权项 一种具有交叉光栅结构的发光二极管,其特征在于:该发光二极管包括衬底(1),生长在衬底(1)上的具有第一光栅结构的介质薄膜层(2),与介质薄膜层(2)键合在一起的具有第二光栅结构的p型GaN外延层(3),生长在p型GaN外延层(3)上的InGaN多量子阱有源发光层(4)和生长在InGaN多量子阱有源发光层(4)上的n型GaN外延层(5),其中,第一光栅结构与第二光栅结构以0~90°之间的任一交叉角度键合在一起,构成交叉光栅结构。
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