半导体器件实验流程和生产流程的综合配置、流程及执行系统

摘要

根据本发明的实施例，综合配置、流程和执行系统(ICFES)可用来规定、控制和记录晶片的半导体器件实验批量和生产批量的处理历史。此外，该系统允许将预先存在的流程框的一个或多个部分流程和特殊处理组合到另一个处理流程框中。可创建包括流程框的批量计划，并且可在处理批量计划之前或期间更新批量计划，以包括部分流程和特殊处理。

主权项

一种用于规定、控制和记录半导体器件制造对象的处理历史的方法，包括：引用第一预先存在流程框和第二预先存在流程框；以及将第一预先存在流程框的部分流程和第二预先存在流程框的部分流程组合到半导体器件处理将来流程计划，同时保持到第一预先存在流程框和第二预先存在流程框的定义的现场链接而无需将第一预先存在流程框或第二预先存在流程框的数据复制进将来流程计划。