一种磁控溅射靶

摘要

本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射靶，包括靶头、折弯波纹管组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降组件、接头组件、驱动器及靶挡板组件，靶支杆可上下往复移动地安装在靶支座上，位于靶支座上方的靶支杆的一端通过折弯波纹管组件与靶头相连接，靶头通过折弯波纹管组件相对于靶支杆可折弯，位于靶支座下方的靶支杆上连接有安装在靶支座上的手动螺旋升降组件；驱动器安装在靶支座上，驱动器的输出端连接有相对靶支座既可转动又可随靶支杆上下往复移动的靶挡板组件；位于靶支座下方的靶支杆的另一端设有与电源连接的接头组件。本发明靶头在折弯波纹管组件的带动下实现折弯功能，使得一台磁控设备实现了多种镀膜工艺，降低了加工成本。

主权项

一种磁控溅射靶，其特征在于：包括靶头(2)、折弯波纹管组件(3)、靶支杆(8)、靶支座(10)、手动螺旋升降组件(11)、接头组件(17)、驱动器(18)及靶挡板组件(33)，其中靶支杆(8)可上下往复移动地安装在靶支座(10)上，位于靶支座(10)上方的靶支杆(8)的一端通过折弯波纹管组件(3)与靶头(2)相连接，靶头(2)通过折弯波纹管组件(3)相对于靶支杆(8)可折弯，位于靶支座(10)下方的靶支杆(8)上连接有安装在靶支座(10)上的手动螺旋升降组件(11)；所述驱动器(18)安装在靶支座(10)上，驱动器(18)的输出端连接有相对靶支座(10)既可转动又可随靶支杆(8)上下往复移动的靶挡板组件(33)；位于靶支座(10)下方的靶支杆(8)的另一端设有与电源连接的接头组件(17)；所述折弯波纹管组件(3)包括第一螺母(4)、波纹管(7)及第一、二折弯板(5、6)，其中波纹管(7)位于第一、二折弯板(5、6)之间，波纹管(7)的一端穿过第一折弯板(5)与靶头(2)密封连接，另一端穿过第二折弯板(6)与靶支杆(8)相连，在第一、二折弯板(5、6)相叠置的连接处设有调节靶头(2)折弯角度的第一螺母(4)。