线锯晶锭切割系统以及使用晶锭预热，网预热，研磨液温度控制以及／或研磨液流率控制之方法

摘要

本发明系关于一种使用线锯制程将一晶锭切割为晶圆的系统及方法。一研磨液收集系统收集研磨液且将其供给至一研磨液处理系统，其用于控制该研磨液之温度及/或流率，藉此以一受控温度及/或一受控流率向用于切削该晶锭之切割系统提供研磨液输出，该晶锭可经预热。

主权项

一种用于切削一晶锭之系统，其包含：一研磨液；一用于冷却该研磨液之冷却系统；一用于加热该研磨液之加热系统；一线锯晶锭切割系统，其包含至少一用于切削该晶锭之切削线及一用于固持该晶锭之晶锭固持器，该线锯晶锭切割系统亦包含：一晶锭固持器端，其用于接收该经加热之研磨液与该经冷却之研磨液之一第一混合物且用于将该第一混合物施加至该晶锭固持器；及一线网端，其用于接收该经加热之研磨液与该经冷却之研磨液之一第二混合物，且用于将该第二混合物施加至该至少一切削线。一种用于切削一晶锭之系统，其包含：一研磨液收集系统，其用于收集及供给研磨液；一连接至该研磨液收集系统之研磨液处理系统，其用于控制该研磨液之温度及/或流率，且具有一以一第一温度及/或一第一流率提供研磨液之第一输出端，且具有一以一第二温度及/或一第二流率提供研磨液之第二输出端，其中该第二温度系不同于该第一温度及/或该第二流率系不同于该第一流率；及一具有至少一用于切削该晶锭之切削线之线锯晶锭切割系统，该线锯晶锭切割系统具有一第一端及一第二端，该第一端系用于接收来自该第一输出端之研磨液且在一第一位置将该自该第一输出端接收之研磨液施加至该线锯晶锭切割系统，该第二端系用于接收来自该第二输出端之研磨液且在一第二位置将该自该第二输出端接收之研磨液施加至该线锯晶锭切割系统，且其中该研磨液处理系统在与该至少一切割线相对于该晶锭之一位置成比例变动之一研磨液温度及/或一研磨液流率下提供研磨液至该第一输出端与第二输出端之至少其中之一。如请求项2之系统，其进一步包含一控制器，其用于控制该研磨液处理系统，且藉此控制下列中之至少一者：该第一输出端处之该研磨液之该第一温度、该第二输出端处之该研磨液之该第二温度、该第一输出端处之该研磨液之该第一流率，及该第二输出端处之该研磨液之该第二流率。如请求项2之系统，其中该线锯晶锭切割系统之该第一端包含一用于接收该来自该第一输出端之之研磨液之晶锭固持器端，且其中该线锯晶锭切割系统之该第二端包含一用于接收该来自该第二输出端之研磨液之线网端。如请求项4之系统，其中该研磨液处理系统以一在约3公升/分钟或3公升/分钟以上之范围内的流率向一晶锭固持器端提供研磨液。如请求项2之系统，其中该研磨液处理系统以一与该至少一切割线相对于该晶锭之位置成正比变动之研磨液流率提供研磨液。如请求项2之系统，其中该研磨液处理系统以一与该至少一切割线相对于该晶锭之位置成反比变动之研磨液温度提供研磨液。如请求项2之系统，更进一步包含有一晶锭加热系统，其用于在切割之前将该晶锭预热至一预设温度。如请求项4之系统，其中该线网端接收研磨液并在该晶锭被切割以预热该线锯晶锭切割系统之至少一线前将该接收之研磨液施加至该线锯晶锭切割系统之该至少一线。如请求项9之系统，其中该被供给至该线锯晶锭切割系统之研磨液系被预热至一大约为摄氏65度之温度。如请求项8之系统，其中将该晶锭预热至一大约为摄氏55度之温度。一种用于切削一晶锭之方法，其包含：收集及供给研磨液；控制该研磨液之温度或流率，且以一第一温度及/或一第一流率提供研磨液至一线锯晶锭切割系统之一第一端，并以一第二温度及/或一第二流率提供研磨液至该线锯晶锭切割系统之一第二端，其中该第二温度系不同于该第一温度及/或该第二流率系不同于该第一流率；及使用该线锯晶锭切割系统切削该晶锭，同时将该研磨液供给至该线锯晶锭切割系统，该研磨液之该受控温度及/或受控流率系与该线锯晶锭切割系统之一切割线相对于该晶锭之一位置成比例变动。如请求项12之方法，其中该研磨液之该受控温度及/或受控流率系与该线锯晶锭切割系统之一切割线相对于该晶锭之一位置成比例变动。一种用于切削一晶锭之系统，其包含：一研磨液；一研磨液温度控制系统，其用于控制该研磨液之一温度；一用于在晶锭切割期间加热该晶锭之晶锭加热系统；及一线锯晶锭切割系统，其具有至少一用于切削该晶锭之线，该线锯晶锭切割系统具有一第一端及一第二端，该第一端系用于以一第一温度接收该研磨液并将该被接收之研磨液施加至该晶锭，该第二端系用于以一第二温度接收该研磨液并当该晶锭藉由该至少一线被切割时将该被接收之研磨液施加至该至少一线，其中该第二温度系不同于该第一温度。如请求项14之系统，其进一步包含一控制器，其用于控制该研磨液温度控制系统及该晶锭加热系统，且藉此控制下列中之至少一者：该研磨液之温度及该晶锭之温度。一种用于切削一晶锭之系统，其包含：一研磨液收集系统，其用于收集及供给研磨液；一连接至该研磨液收集系统之研磨液处理系统，该研磨液处理系统控制该研磨液之一流率，且包含有一用于以一受控流率提供研磨液输出之研磨液输出端；其中该研磨液处理系统以一在约3公升/分钟或3公升/分钟以上之范围内的流率提供研磨液至一晶锭固持端；及一晶锭预热系统，其用于控制该晶锭温度；及一线锯晶锭切割系统，其具有至少一用于切割该晶锭之切割线，其中该线锯晶锭切割系统之该第一端包含一晶锭固持端，其用于接收来自该研磨液处理系统之一第一研磨液输出端之该研磨液输出，并将该被接收之研磨液输出施加至该线锯晶锭切割系统，且其中该线锯晶锭切割系统之一第二端包含一线网端，其用于接收来自该第二输出端之研磨液。如请求项16之系统，其中该研磨液处理系统以一与该至少一切割线相对该晶锭之该位置成正比变动之研磨液流率提供研磨液至该线锯晶锭切割系统之该线网端。如请求项16之系统，其中该研磨液处理系统以一与该至少一切割线相对该晶锭之该位置成反比变动之研磨液温度提供研磨液至该线锯晶锭切割系统之该线网端。一种用于切削一晶锭之方法，其包含：收集及供给一研磨液；控制该研磨液之输送且以一第一温度及/或一第一流率提供研磨液至一线锯晶锭切割系统之一第一端；及以一第二温度及/或依第二流率提供研磨液至该线锯晶锭切割系统之一第二端，其中该第二温度系不同于该第一温度及/或该第二流率系不同于该第一流率；在切割该晶锭前预热该晶锭至一预设温度；在切割该晶锭前将该研磨液施加至一线锯晶锭切割系统以预热该线锯晶锭切割系统；及使用该线锯晶锭切割系统切削该晶锭，同时将该研磨液供给至该线锯晶锭切割系统。如请求项19之方法，其中将该晶锭预热至一大约为55℃之温度，且经施加至该线锯晶锭切割系统以预热该线锯晶锭切割系统的该研磨液之一温度为大约65℃。