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摘要 A method and apparatus for introducing a fluorine-containing flow stream to a deposition process to maintain process by-product volatility and reduce or eliminate by-product formation and/or interference.
申请公布号 JP5031189(B2) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 JP20040378477 申请日期 2004.12.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3065 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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