加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备

摘要

本发明提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。

主权项

一种加速度检测器，其特征在于，具备：基座部；板状的可动部，其通过连接部而与该基座部相连接；加速度检测元件，其跨接所述基座部和所述可动部；支承部，其具备在俯视观察时从所述基座部起沿着所述可动部而延伸的部位；质量部，其以在俯视观察时一部分与所述支承部重合的方式，而被配置在所述可动部的两个主面中的至少一个主面上，在所述质量部和所述支承部重合的区域内，于所述质量部和所述支承部之间设置有间隙，从而能够使所述可动部根据在与所述主面交叉的方向上施加的加速度，以所述连接部为支点而在与所述主面交叉的方向上位移。