摘要 |
Es ist eine EHID Lampe beschrieben, die einen Feldapplikator, ein Mittel zum Koppeln von RF Energie in den Feldapplikator, und ein Entladungsgefäß aufweist, wobei das Entladungsgefäß in dem Feldapplikator aufgenommen ist und ein Entladungsmittel aufweist, der Feldapplikator ein festes, transparentes oder lichtdurchlässiges dielektrisches Material aufweist und eine optische Steuerfläche und einen leitfähige Beschichtung hat, von der seine Außenflächen im Wesentlichen abdeckt sind. Durch Kombinieren von Funktionen, die ansonsten von einzelnen Bestandteilen geleistet wurden, hat die EHID Lampe gemäß dieser Erfindung das Potential, die Teileanzahl zu reduzieren, die RF-Kopplung zum Plasma zu verbessern, Abschattungen zu reduzieren und die Zuverlässigkeit zu verbessern.
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