发明名称 EHID Lampe mit integrierten Feldapplikatorund Optokoppler
摘要 Es ist eine EHID Lampe beschrieben, die einen Feldapplikator, ein Mittel zum Koppeln von RF Energie in den Feldapplikator, und ein Entladungsgefäß aufweist, wobei das Entladungsgefäß in dem Feldapplikator aufgenommen ist und ein Entladungsmittel aufweist, der Feldapplikator ein festes, transparentes oder lichtdurchlässiges dielektrisches Material aufweist und eine optische Steuerfläche und einen leitfähige Beschichtung hat, von der seine Außenflächen im Wesentlichen abdeckt sind. Durch Kombinieren von Funktionen, die ansonsten von einzelnen Bestandteilen geleistet wurden, hat die EHID Lampe gemäß dieser Erfindung das Potential, die Teileanzahl zu reduzieren, die RF-Kopplung zum Plasma zu verbessern, Abschattungen zu reduzieren und die Zuverlässigkeit zu verbessern.
申请公布号 DE112010001117(T5) 申请公布日期 2012.09.13
申请号 DE201011001117T 申请日期 2010.03.10
申请人 OSRAM SYLVANIA INC. 发明人 BUTLER, SCOTT J.;LAPATOVICH, WALTER P.
分类号 H01J9/00 主分类号 H01J9/00
代理机构 代理人
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