带有感应晶圆花篮功能的起吊装置

摘要

本发明公开了一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩和花篮承载筐，机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部，花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部，至少一个钩部内固定有传感器，相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。本发明结构简单，并且非常实用，通过控制单元便能实现自动化控制，并且可以检测到是否钩住晶圆花篮，做到防止挂空、挂偏等误动作的发生，不需要操作人员随时检查，降低了人工成本。

主权项

一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩（1）和花篮承载筐（2），机械手吊钩（1）的两侧均设置有至少两个以上的钩部（1‑1），花篮承载筐（2）上设置有与钩部（1‑1）相配的凸起部（2‑1），其特征在于：至少一个钩部（1‑1）内固定有传感器（3），相应的凸起部（2‑1）内固定有与传感器（3）相配的感应块（4）。