球面光学元件加工用固结磨料研磨抛光垫

摘要

一种球面光学元件加工用固结磨料研磨抛光垫，其特征是磨料和热固性树脂均匀混合，固化后形成球面固结磨料研磨抛光垫，它们的质量百分比为磨料∶树脂＝5％～50％∶50％～95％。磨料为金刚石、氧化硅、氧化铈、氧化铝、碳化硅、碳化硼、氧化锆中的一种或几种组合，磨料粒度为50纳米～100微米；热固性树脂为不饱和聚酯树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚丁二烯树脂中的一种或几种组合；球面为凸球面或凹球面，直径3.5～1000毫米，曲率半径2.5毫米～∞。固结磨料球面研磨抛光具有研磨抛光性能稳定，工艺简单、加工效率高、加工成本低，不会造成环境污染等特点。

主权项

一种球面光学元件加工用固结磨料研磨抛光垫，其特征是磨料和热固性树脂均匀混合，固化后形成球面固结磨料研磨抛光垫，它们的质量百分比为磨料∶树脂＝5％～50％∶50％～95％。