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发明名称
摘要
申请公布号 JP5004393(B2) 申请公布日期 2012.08.22
申请号 JP20010547740 申请日期 2000.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01L27/08;H03F1/08;H03F1/34;H03F3/08 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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