Verfahren und Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung von Oberflächen

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung zumindest eines Oberflächenabschnitts eines auf einem Träger (12) gelagerten Objekts (14), mit: — zumindest einem gegenüber dem Träger (12) fixierbaren Referenzobjekt (18, 20) und — einem in zumindest einer ersten Richtung (x, y) gegenüber dem Referenzobjekt (18, 20) beweglichen Halter (26), an welchem ein Referenzkörper (28) sowie ein Abstandsmesser (34, 36) angeordnet sind, die relativ zueinander drehbar gelagert sind, wobei der Abstandsmesser (34, 36) dazu ausgebildet ist, einen ersten Abstand (38) zu einem ersten Punkt (52) des Oberflächenabschnitts des Objekts (14) und einen zweiten Abstand (40) zu einem hiermit korrespondierenden zweiten Punkt (54) des Referenzkörpers (28) zu bestimmen.