发明名称 Semiconductor fabrication process including recessed source/drain regions in an SOI wafer
摘要
申请公布号 KR101169920(B1) 申请公布日期 2012.08.06
申请号 KR20077015260 申请日期 2005.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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