光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置

摘要

光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置，属于光电测量技术领域，为解决现有光栅线位移传感器中指示光栅间隙检测时判断不准确，效率低的问题，本发明装置包括间隔反射玻璃、光栅滑架、指示光栅、光源、准直物镜、显微物镜和CCD摄像头，所述光源发出的光入射到准直物镜，经准直物镜准直后，出射光入射到间隔反射玻璃和指示光栅上，一部分光线被间隔反射玻璃镀膜区反射，另一部分光线透射到指示光栅上，入射至指示光栅的光线被指示光栅镀膜区反射，两部分反射光入射到显微物镜，从显微物镜出射的光入射到CCD摄像头的接收面上，本发明也可应用于回转零件的端面跳动检测和回转零件的圆柱面对回转轴的不同轴度的检测和圆柱度的检测。

主权项

光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置，该装置包括间隔反射玻璃(1)、光栅滑架(2)、指示光栅(3)、光源(4)、准直物镜(5)、显微物镜(6)和CCD摄像头(7)，其特征在于，所述光源(4)发出的光入射到准直物镜(5)，经准直物镜(5)准直后出射光入射到间隔反射玻璃(1)和指示光栅(3)上，一部分光线被间隔反射玻璃(1)镀膜区反射，另一部分光线透射到指示光栅(3)上，入射至指示光栅(3)的光线被指示光栅(3)镀膜区反射，两部分反射光入射到显微物镜(6)，从显微物镜(6)出射的光入射到CCD摄像头(7)的接收面上。