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发明名称 METHOD FOR PROCESSING AN OBJECT WITH MINIATURIZED STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP2257853(B1) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20090715092 申请日期 2009.02.24
申请人 CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 BUDACH, MICHAEL;BRET, TRISTAN;EDINGER, KLAUS;HOFMANN, THORSTEN
分类号 G03F1/00;C23C16/04;C23C16/48;H01J37/305 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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