主动元件阵列基板的制造方法

摘要

一种主动元件阵列基板的制造方法。首先，在基板的显示区中形成多个间极与多条扫描线。在基板的周边线路区中形成至少一短路条。接着，依序形成一绝缘层与一半导体材料层于基板上。接着，在半导体材料层上形成一图案化光阻层。接着，移除部份半导体材料层与部份绝缘层，以形成多个接触孔。移除部份图案化光阻层。移除部份半导体材料层，以定义出多个通道层。移除图案化光阻层。接着，形成多条资料线。在各个通道层上形成一源极与一汲极。这些资料线从显示区延伸至周边线路区，并经由这些接触孔连接短路条。