Photokatalytisoher mehrschichtiger Metallverbindungs-Dünnfilm und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Aufgabe: Schnelles und billiges Bereitstellen eines photokatalytischen Titanoxid-Dünnfilms, der hohe photokatalytische Eigenschaften aufweist, bei einer niedrigen Temperatur. Mittel zur Lösung: Der Dünnfilm umfasst eine Keimschicht aus einem amorphen Metallverbindungs-Dünnfilm, die an der Oberfläche eines Substrats wie etwa Glas oder Kunststoff gebildet wurde, und einen kristallinen Metallverbindungs-Dünnfilm, der säulenförmig gezüchtet auf der Keimschicht gebildet wurde. Bei der Herstellung des Dünnfilms wird keine Vorbehandlung oder Nachbehandlung durch ein Plasma eines reaktiven Gases mittels eines Sputterverfahrens und auch keine Erhitzungsbehandlung vorgenommen, weshalb der photokatalytische Titanoxid-Dünnfilm durch eine schnelle Filmbildung bei einer niedrigen Temperatur billig hergestellt wird.