发明名称 |
一种低功耗阻变存储器结构及制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种阻变存储器及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)技术领域。该阻变存储器包括衬底,在衬底上设有下电极,在下电极上设有第一阻变层,在第一阻变层上设有第二阻变层,在第二阻变层上设有电子电流阻挡层,在电子电流阻挡层上设有上电极,上电极和电子电流阻挡层导带之间的能带差低于1eV。本发明可以有效地抑制电子电流,同时又不会减弱引起阻变的离子电流,能有效地降低功耗。 |
申请公布号 |
CN102593351A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201210019208.9 |
申请日期 |
2012.01.20 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
张丽杰;黄如;谭胜虎 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 |
代理人 |
贾晓玲 |
主权项 |
一种阻变存储器,其特征在于,包括衬底,在衬底上设有下电极,在下电极上设有第一阻变层,在第一阻变层上设有第二阻变层,在第二阻变层上设有电子电流阻挡层,在电子电流阻挡层上设有上电极,上电极和电子电流阻挡层导带之间的能带差低于1eV。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号 |