环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法

摘要

下述式(1)所示的环状化合物。(式中，L、R1、R′及m如说明书中所定义的)。式(1)所示的环状化合物由于相对于安全溶剂的溶解性高，灵敏度高，并且可赋予良好的抗蚀图案形状，所以作为辐射敏感组合物的成分是有用的。

主权项

1.一种环状化合物，其以下述式(1)表示，式(1)中，各L独立地为选自由单键、碳原子数1～20的直链状或支链状的亚烷基、碳原子数3～20的环亚烷基、碳原子数6～24的亚芳基、-O-、-OC(＝O)-、-OC(＝O)O-、-N(R⁵)-C(＝O)-、-N(R⁵)-C(＝O)O-、-S-、-SO-、-SO₂-及它们的任意的组合组成的组中的二价的有机基团，其中R⁵为氢或碳原子数1～10的烷基，各R¹独立地为碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～20的环烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～20的烷氧基、氰基、硝基、羟基、杂环基、卤素、羧基、碳原子数2～20的酰基、碳原子数1～20的烷基甲硅烷基或氢原子，其中，至少一个R¹为氢原子，各R’独立地为下述式(1-2)所示的基团，式(1-2)中，R”为碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～20的环烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～20的烷氧基、氰基、硝基、杂环基、卤素、羧基、羟基或碳原子数1～20的烷基甲硅烷基，p为1～5的整数，q为1～5的整数，m为1～4的整数。