保护膜形成方法

摘要

一种在被加工之晶圆表面上形成树脂保护膜的方法，包括晶圆固持步骤，用以固持晶圆在旋转桌上，使得被加工表面朝上；树脂滴落步骤，用以滴落预定数量的液体树脂在固持于旋转桌上之晶圆被加工表面的中心区域上；及保护膜形成步骤，用以在转动旋转桌时经由晶圆被加工表面的中心区域朝向周边吹出空气，使导致滴落在晶圆被加工表面之中心区域上的液体树脂朝向周边流动。