| 发明名称 | MEMS质量流量传感器 | ||
| 摘要 | 本发明为一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。本发明量程范围宽、响应速度快、灵敏度高、功耗低。 | ||
| 申请公布号 | CN102564507A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201210016318.X | 申请日期 | 2012.01.19 |
| 申请人 | 上海华强浮罗仪表有限公司 | 发明人 | 邵思 |
| 分类号 | G01F1/69(2006.01)I;G01F1/76(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/69(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人 | 陈志良 |
| 主权项 | 一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区科苑路151号 | ||