一种硅片制绒设备

摘要

本实用新型公开了一种硅片制绒设备，包括储液罐和工艺槽，所述储液罐与工艺槽之间设有排烟管路，所述工艺槽内设有挡板，所述挡板倾斜布置于排烟口下方，其上部与工艺槽顶部留有间隙，进一步包括位于排烟口下方的导流板，所述排烟管路的出烟口位于所述导流板上方；所述导流板的下部连接于工艺槽的后壁，所述挡板的下部连接于导流板的上部。该设备在硅片制绒过程中能够保护生产、维修人员的人身安全，并降低碎片率和维修时间。

主权项

一种硅片制绒设备，包括储液罐和工艺槽，所述储液罐与工艺槽之间设有排烟管路，所述工艺槽内设有挡板，所述挡板倾斜布置于排烟口下方，其上部与工艺槽顶部留有间隙，其特征在于，进一步包括位于排烟口下方的导流板，所述排烟管路的出烟口位于所述导流板上方；所述导流板的下部连接于工艺槽的后壁，所述挡板的下部连接于导流板的上部。