形成穿透和/或反射图像的高处理量检测系统及其方法

摘要

一种以高处理量检测一物体(8)(例如标线板或光掩膜)的检测系统(10)及方法，该系统与方法可形成并感应穿透和/或反射短周期光束(short duration beams)(15、17)。根据本发明一具体实施例可同时形成及感应该穿透与反射短周期光束，从而同时提供一反射图像与一穿透图像。该反射与穿透短周期发光光束是操作于频域(frequency domain)，或个别极化以使其导引至适当区域感应器(32、34)。根据本发明另一态样，本系统可改变一短周期发光光束的操作，以选择性地导引该短周期光束至个别区域感应器，从而增加该检测系统(10)的处理量。该系统(10)及方法可简易比较一区域(AR9)的穿透及反射图像，并因此消除在该图像间执行登记(registration)的需求。

主权项

一种光学地检测一物体以指示物体的状态的方法，该方法至少包含下列步骤：传送发光光束；更改所述发光光束并从该物体的一区域的一表面反射所更改的发光光束，从而当所述发光光束的极性未改变时所反射的光束到达第一区域感应器，当可变半波长延迟器引入半波长的一相位偏移改变所述发光光束的极性时所反射的光束到达第二区域感应器；由所述第一区域感应器感应到达所述第一区域感应器的所反射光束，并响应形成第一输出信号；由所述第二区域感应器感应到达所述第二区域感应器的所反射光束，并响应形成第二输出信号；重复更改、反射与感应的循环，直到该物体的一预先定义部分被完全照射为止；其中在每个循环期间，所述第一和第二输出信号的其中之一将被处理；及处理该第一和第二输出信号，以提供该物体的预先定义部分的状态的一指示。