用于硅片自动上下料系统的出片机构

摘要

本发明提供了用于硅片自动上下料系统的出片机构，其能解决以往依靠人工从硅片盒中抽取硅片存在的取片速度慢、工人劳动强度大的问题，并能有效降低取片时的硅片破碎率，降低生产成本。其特征在于：其包括伺服电机、直线模组、竖向气动滑台和出片板，出片板通过连接板安装于竖向气动滑台，竖向气动滑台通过气动滑台支架安装于底板，底板安装于直线模组，直线模组通过联轴器与伺服电机连接。

主权项

用于硅片自动上下料系统的出片机构，其特征在于：其包括伺服电机、直线模组、竖向气动滑台和出片板，所述出片板通过连接板安装于所述竖向气动滑台，所述竖向气动滑台通过气动滑台支架安装于底板，所述底板安装于所述直线模组，所述直线模组通过联轴器与所述伺服电机连接。