一种新型铁基合金靶材的制造方法

摘要

本发明公开了一种新型铁基合金靶材的制造方法，包括下述步骤，按量取Fe、Hf两种元素原材料放入坩埚中，进行真空熔炼并浇注到模具中形成方形的铸锭坯料，再将铸锭坯料机加工成所需形状的靶材。本发明采用真空感应熔炼工艺制备铁铪合金靶材，可有效保证靶材成份均匀，纯度高，且工艺简单，操作简便，生产成本低廉，易于推广应用。

主权项

一种新型铁基合金靶材的制造方法，其特征是，它包括以下步骤：（1）铁基合金靶材的元素含量为：Fe（69.05±0.5）%、Hf（30.95±0.5）%，按所设计的元素含量计算所需的Fe、Hf二种元素的重量；（2）根据（1）步所需的Fe、Hf二种元素的重量，取纯度均在99.9%以上的纯金属作为原材料；（3）将（2）步所需的金属原材料放入坩埚中，进行真空熔炼并铸造成铸锭，熔炼时真空度为8×10‑2Pa，熔炼温度是1690±10℃，浇注温度是1670±10℃；（4）将（3）步所铸造的铸锭进行机加工制得所需形状的靶材。