X射线检查区域设定方法、X射线检查装置

摘要

涉及能够正确且容易地输入安装元件和基板的连接配线的信息的X射线检查区域设定方法、X射线检查装置及X射线检查区域设定程序。在基板检查的示教中，若用户对基板的可见光图像输入作为检查对象的元件的二维区域，则针对该区域生成三维数据并进行解析，取得将该元件与基板连接的球状端子的中心坐标、个数、行数及列数。另外，也可以显示如此取得的中心坐标等结果。在画面(1501)内的显示栏(1502)上显示基板的可见光图像。在显示栏(1502)上，以与可见光图像重叠的方式，显示与作为检查对象所取得的区域对应的框(610)，并根据基于三维数据取得的焊锡球的位置等来显示与各焊锡球对应的框(610C)。

主权项

一种X射线检查区域设定方法，用于设定检查区域，该检查区域用于利用X射线来检查基板，其特征是，包括：显示可见光图像的步骤，该可见光图像是从与基板面垂直的方向拍摄上述基板所得到的；接受对信息的输入的步骤，该信息用于在所显示的上述图像中指定安装在基板上的元件存在的范围；根据X射线的透视图像来生成三维的重建数据的步骤，该X射线的透视图像是指，对包括所指定的上述范围内的元件的区域的三维区域进行X射线透视所得到的透视图像；通过对上述三维的重建数据进行处理，确定用于连接上述基板和上述元件的配线的位置的信息的步骤；根据所确定的配线的位置的信息，在上述三维区域中确定与上述配线对应的区域，并将所确定的区域设定为检查区域的步骤。