发明名称 |
微机电器件及其驱动方法 |
摘要 |
提出的本发明申请描述了基于微机电系统MEMS技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号,以便获得期望的活动状态。所提出的发明仅需要短的控制信号,例如脉冲,以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展,可以忽略去控制信号上的RF噪声或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒,并且增强了功能。 |
申请公布号 |
CN101501805B |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN200780029558.0 |
申请日期 |
2007.07.24 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
A·希尔格斯 |
分类号 |
H01H57/00(2006.01)I;H01H59/00(2006.01)I;H01H61/02(2006.01)I;H01H1/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01H57/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
龚海军;刘红 |
主权项 |
一种MEMS器件,包括可移动结构(30)、基底结构(10)、移动该可移动结构(30)的至少一个致动结构(100)、自锁定器件(200)、开启键(310)、关断键(320)、电源(400),所述电源(400)能够经由经过该开启键(310)的第一导电通路与该致动结构(100)和该自锁定器件(200)电连接,该自锁定器件(200)能够经由该关断键(320)在该电源(400)和该致动结构(100)之间提供第二导电通路。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |