发明名称 微机电器件及其驱动方法
摘要 提出的本发明申请描述了基于微机电系统MEMS技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号,以便获得期望的活动状态。所提出的发明仅需要短的控制信号,例如脉冲,以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展,可以忽略去控制信号上的RF噪声或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒,并且增强了功能。
申请公布号 CN101501805B 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN200780029558.0 申请日期 2007.07.24
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 A·希尔格斯
分类号 H01H57/00(2006.01)I;H01H59/00(2006.01)I;H01H61/02(2006.01)I;H01H1/50(2006.01)I 主分类号 H01H57/00(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 龚海军;刘红
主权项 一种MEMS器件,包括可移动结构(30)、基底结构(10)、移动该可移动结构(30)的至少一个致动结构(100)、自锁定器件(200)、开启键(310)、关断键(320)、电源(400),所述电源(400)能够经由经过该开启键(310)的第一导电通路与该致动结构(100)和该自锁定器件(200)电连接,该自锁定器件(200)能够经由该关断键(320)在该电源(400)和该致动结构(100)之间提供第二导电通路。
地址 荷兰艾恩德霍芬