发明名称 Modular electronic ultrahigh vacuum pump
摘要
申请公布号 US3112864(A) 申请公布日期 1963.12.03
申请号 US19590842294 申请日期 1959.09.25
申请人 ULTEK CORPORATION 发明人 HALL LEWIS D.;SUGG JOHN WILLIAM
分类号 H01J41/20 主分类号 H01J41/20
代理机构 代理人
主权项
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