一种基于电磁传感器的金属膜厚测量装置与方法

摘要

本发明属于电磁传感器技术领域，涉及一种基于电磁传感器的金属膜厚测量装置，包括电磁传感器、信号发生单元、功率放大器、信号采集单元、上位计算机，电磁传感器包括3个平行且同轴的线圈，其中，外侧的两个线圈为接收线圈，由相同的绕线按照相同的绕线密度、匝数和线圈直径及相反的绕线方向绕制而成，两个线圈的一端相互连接，各自的另一端分别作为一个接收端，构成差分结构，处在中间的线圈为激励线圈；上位计算机控制信号发生单元发出不同频率的激励信号经过功率放大器后被接在激励输入端，信号采集单元从两个接收端采集接收线圈的感应信号。本发明同时提供采用上述测量装置实现的金属膜厚测量方法。本发明结构简单，成本低廉，检测灵敏、准确、快速、有效。

主权项

一种基于电磁传感器的金属膜厚测量装置，包括电磁传感器、信号发生单元、功率放大器、信号采集单元和上位计算机，其特征在于，所述的电磁传感器包括3个平行且同轴的线圈，其中，外侧的两个线圈为接收线圈，由相同的绕线按照相同的绕线密度、匝数和线圈直径及相反的绕线方向绕制而成，两个接收线圈的一端相互连接，各自的另一端分别作为一个接收端，构成差分结构，处在两个接收线圈中间的线圈为激励线圈；上位计算机控制信号发生单元发出不同频率的激励信号经过功率放大器后被接在激励线圈的激励信号输入端，信号采集单元从两个接收端采集接收线圈的感应信号，其输出被送入上位计算机，由上位计算机根据所采集的信号，得到待测金属膜厚度。