用于晶圆的刷洗装置

摘要

本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，所述用于晶圆的刷洗装置包括：密封箱，所述密封箱内限定有容纳腔，其中所述容纳腔的侧壁上设有晶圆取放孔；第一门体，所述第一门体设在所述侧壁上用于打开和关闭所述晶圆取放孔；支撑件，所述支撑件设在所述容纳腔内用于可旋转地支撑沿竖直方向定向的晶圆；和第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设在所述容纳腔内以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面。通过利用根据本发明实施例的刷洗装置来刷洗晶圆，可以避免晶圆受到外来污物的污染，从而可以大大地提高晶圆的洁净度。

主权项

一种用于晶圆的刷洗装置，其特征在于，包括：密封箱，所述密封箱内限定有容纳腔，其中所述容纳腔的侧壁上设有晶圆取放孔；第一门体，所述第一门体设在所述侧壁上用于打开和关闭所述晶圆取放孔；支撑件，所述支撑件设在所述容纳腔内用于可旋转地支撑沿竖直方向定向的晶圆；和第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设在所述容纳腔内以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面。