发明名称 |
长晶炉体结构配置 |
摘要 |
本发明系关于一种长晶炉体结构配置,其将隔离室与人员控制室分开并排设置,并利用二室间之隔离门以隔离人员控制室与隔离室。隔离室内容设有炉底盖,隔离室之顶板上方盖设有炉上腔,炉上腔与炉底盖并彼此对应盖合形成长晶炉。由于隔离室与人员控制室相互隔离,因此,当长晶炉运作时可隔绝噪音、高热、及粉尘污染于隔离室内,可确保人员控制室内操作人员的安全及卫生。此外,由于炉上腔设于隔离室外,可直接散热到大气中,不需再以大量空调进行厂房内冷却,故可兼具节能与安全性。 |
申请公布号 |
TWI366612 |
申请公布日期 |
2012.06.21 |
申请号 |
TW097105738 |
申请日期 |
2008.02.19 |
申请人 |
绿能科技股份有限公司 台北市中山区中山北路3段22号 |
发明人 |
吕秀正;林和龙 |
分类号 |
C30B15/00 |
主分类号 |
C30B15/00 |
代理机构 |
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代理人 |
吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼 |
主权项 |
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地址 |
台北市中山区中山北路3段22号 |