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Nahfeldsensor zur lokalen Messung von dielektrischen Eigenschaften von Untersuchungsobjekten mit Hilfe von Mikrowellen, mit einem Mikrowellenresonator (1, 2), mit Grundflächen (4) und Seitenwänden (5), mit Einrichtungen (9) zum Ein- und Auskoppeln von Mikrowellen und mit einer aus demselben herausragenden Messspitze (6) zum Abtasten des Untersuchungsobjekts (7), dadurch gekennzeichnet, dass der Resonator aus zwei im Wesentlichen gleichen Resonatorhälften (1, 2) besteht, die übereinander mit einer gemeinsamen elektrisch leitenden Zwischenwand (3) angeordnet sind, wobei die Zwischenwand (3) im Bereich mindestens einer Begrenzung des Resonators (1, 2) einen länglichen Schlitz (8) oder einen elektrisch nichtleitenden, aber für Mikrowellen durchlässigen schlitzförmigen Bereich aufweist, dass die Messspitze (6) in der Ebene der elektrisch leitenden Zwischenwand (3) angeordnet und mit derselben im Bereich des Schlitzes (8) bzw. im schlitzförmigen Bereich verbunden ist, und dass der Nahfeldsensor in planarer Technologie substratintegriert mit einer geeigneten Mehrlagenanordnung hergestellt ist.
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