| 发明名称 | 机械握爪干燥方法和干燥装置 | ||
| 摘要 | 一种机械握爪干燥方法和机械握爪干燥装置，其中，所述机械握爪干燥方法至少包括：加热用于干燥的惰性气体；通过加热后的惰性气体对机械握爪进行干燥。本发明通过对用于干燥的惰性气体预先进行加热，然后再将其对机械握爪进行干燥，从而在无需增加干燥时长的前提下实现了干燥效果的改善，结构简单，易于有效地利用现有的机台设备，节省了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102506561A | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN201110298659.6 | 申请日期 | 2011.09.30 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 钮晨光;包中诚 |
| 分类号 | F26B3/00(2006.01)I;F26B21/14(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | F26B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种机械握爪干燥方法，其特征在于，至少包括：加热用于干燥的惰性气体；通过加热后的惰性气体对机械握爪进行干燥。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 | ||