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Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Vermessen eines optischen Systems am Ort einer Messebene (409). Das Verfahren beinhaltet die folgenden Schritte:–Eine erste Mehrzahl von Testbündeln (464a, 464b, 464c, 464d) einer Strahlung durchlaufen das optische System und treffen auf einem gleichen ersten Messbereich (461) in einer Messebeneebene (409) auf, wobei die Testbündel der erste Mehrzahl von Testbündeln (464a, 464b, 464c, 464d) auf paarweise unterschiedlichen optischen Wegen das optische System durchlaufen und unter paarweise unterschiedlichen Einstrahlwinkeln gegenüber der Messebene (409) auf dem ersten Messbereich (61) auftreffen–Eine zweite Mehrzahl von Testbündeln (465a, 465b, 465c, 465d) einer Strahlung durchlaufen das optische System und treffen auf einem gleichen zweiten Messbereich (462) in der Messebene (409) auf, wobei die Testbündel der zweiten Mehrzahl von Testbündeln (465a, 465b, 465c, 465d) auf paarweise unterschiedlichen optischen Wegen das optische System durchlaufen und unter paarweise unterschiedlichen Einstrahlwinkeln gegenüber der Messebene (409) auf dem zweiten Messbereich (462) auftreffen, wobei der zweite Messbereich (462) sich vom ersten Messbereich (461) unterscheidet–Mittels einer Messeinrichtung (469, 470) wird zu jedem Testbündel der ersten Mehrzahl von Testbündeln mindestens ein zugehöriger Messwert einer ersten Messgröße des Testbündels am Ort des ersten Messbereiches erfasst–Mittels einer Messeinrichtung wird zu jedem Testbündel der zweiten Mehrzahl von Testbündeln mindestens ein zugehöriger Messwert einer zweiten Messgröße des Testbündels am Ort des zweiten Messbereiches erfasst–Zu jedem Testbündel der ersten Mehrzahl von Testbündeln (464a, 464b, 464c, 464d) und der zweiten Mehrzahl von Testbündeln (465a, 465b, 465c, 465d) wird ein zugehöriger Auftreffbereich (467a, 467d, 468a, 468d) auf mindestens einer Referenzfläche (461, 471) des optischen Systems berechnet oder mit Hilfe einer Datenbank ermittelt, wobei der zu einem Testbündel zugehörige Auftreffbereich definiert ist als der Flächenbereich der mindestens einen Referenzfläche (461, 471), auf den Strahlung des jeweiligen Testbündels auftrifft–Aus den Messwerten und den Auftreffbereichen wird zu jedem Testbündel eine räumliche Diagnoseverteilung mindestens einer Eigenschaft der mindestens einen Referenzfläche berechnet.
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