发明名称 |
一种铜锌锡硫光伏薄膜的制备方法 |
摘要 |
一种铜锌锡硫光伏薄膜的制备方法,包括铜箔基材表面除油、水洗、酸洗处理,铜箔基材表面采用化学镀、电镀、溅射、蒸镀、分子束外延、热浸镀方法中的一种沉积金属锌,镀锌层于保护气氛中的硫锡化热处理。本发明直接在预处理后铜箔基材上沉积金属锌,再进行硫锡化处理以获得铜锌锡硫薄膜。该法具有成本低、工艺流程短、重现性好、易于大规模卷绕式生产以及适合薄膜的成分控制和大面积生长等优点。在铜基底上直接沉积金属锌,铜箔作为太阳电池器件的柔性机械载体,同时也起到了提供铜锌锡硫薄膜中铜源以及作为太阳电池背电极的三重作用。所制备的薄膜具有良好的成分可控性、均匀性,以及优越的结晶质量及性质。 |
申请公布号 |
CN102496656A |
申请公布日期 |
2012.06.13 |
申请号 |
CN201110435509.5 |
申请日期 |
2011.12.22 |
申请人 |
中南大学 |
发明人 |
赖延清;杨佳;陈志伟;刘芳洋;苏正华;张坤;赵联波;贾明;李劼;刘业翔 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;C23C12/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
长沙市融智专利事务所 43114 |
代理人 |
颜勇 |
主权项 |
一种铜锌锡硫光伏薄膜的制备方法,包括以下步骤:第一步:铜箔基材表面处理将铜箔基材表面除油、水洗、酸洗;第二步:铜箔基材表面沉积金属锌在第一步处理得到的铜箔基材表面沉积金属锌,所述沉积采用化学镀、电镀、溅射、蒸镀、分子束外延、热浸镀方法中的一种;第三步:镀锌层的硫锡化热处理将第二步所得的表面沉积有金属锌的铜箔基材置于保护气氛中,加热至200~800℃,通过载气输入硫源和锡源,对镀锌层进行硫锡化热处理。 |
地址 |
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号 |