一种内孔激光测量装置

摘要

本发明公开了一种内孔激光测量装置，包括激光器（1）、下梯形棱镜（3）、孔径光阑（4）、透镜（5）、上梯形棱镜（6）和CCD（7），其中，所述下梯形棱镜（3）位于上梯形棱镜（6）下方，两梯形棱镜关于该透镜（5）呈对称布置；所述孔径光阑（4）和透镜（5）设置在所述下梯形棱镜（3）和上梯形棱镜（6）之间，且所述孔径光阑（4）沿光路设置在所述透镜（5）前方；所述CCD（7）设置于上梯形棱镜（6）上方，用于接收从上梯形棱镜（6）出射的光信号。该装置大大减小测量所需的物理空间，测量速度快、精度高、安装调试方便，受外界干扰小，能有效补偿装配所带来的误差。

主权项

一种内孔激光测量装置，包括激光器(1)、下梯形棱镜(3)、孔径光阑(4)、透镜(5)、上梯形棱镜(6)和CCD(7)，其中，所述下梯形棱镜(3)位于上梯形棱镜(6)下方，两梯形棱镜关于该透镜(5)呈对称布置；所述孔径光阑(4)和透镜(5)设置在所述下梯形棱镜(3)和上梯形棱镜(6)之间，且所述孔径光阑(4)沿光路设置在所述透镜(5)前方；所述CCD(7)设置于上梯形棱镜(6)上方，用于接收从上梯形棱镜(6)出射的光信号；测量孔深时，激光器(1)发出的测量激光投射到待测孔(2)的内底面，产生一个圆形光斑，经内底面发生漫反射后进入下梯形棱镜(3)，并使光线在该下梯形棱镜(3)内发生全反射，从下梯形棱镜(3)出射的光线依次经孔径光阑(4)和透镜(5)进行汇聚，再进入所述上梯形棱镜(6)进行全反射，出射光成像于CCD(7)的靶面上，上述成像图像经处理后得出采集到的光斑重心，再根据标定的零位即可求出光斑重心偏移量，再利用所述重心偏移量与被测孔深度变化的对应函数关系，即可得到孔深数据。