| 摘要 |
<p>다수의 증착 공정을 수행하는 방법 및 장치가 제공된다. 일 실시예에서, 증착 장치는 챔버 몸체 및 상기 챔버 몸체상에 배치된 가스 공급 조립체를 포함한다. 일 실시예에서, 증착 방법은 처리될 기판 표면을 챔버 몸체내에 위치시키는 단계, 상기 챔버 몸체상에 배치된 가스 분배 조립체를 이용하여 둘 이상의 화합물을 상기 챔버 몸체내로 공급하여 제 1 재료를 포함하는 필름을 증착하는 단계, 및 그 후에, 상기 챔버 몸체상에 배치된 가스 분배 조립체를 이용하여 둘 이상의 상이한 화합물을 상기 챔버 몸체내로 공급하여 제 2 재료를 포함하는 필름을 증착하는 단계를 포함한다. 이러한 실시예들의 일 측면에서, 상기 가스 분배 조립체는 상기 챔버 몸체와 유체 연통되는 가스 도관, 상기 가스 도관과 유체 연통되는 하나 이상의 고속 작동 밸브를 구비하는 둘 이상의 분리된 가스 유입구; 및 상기 가스 도관과 유체 연통되는 혼합 채널을 포함한다. 상기 밸브는 하나 이상의 화합물을 상기 가스 도관내로 교번적으로 펄스시키며, 상기 혼합 채널은 하나 이상의 화합물의 연속적인 유동을 상기 가스 도관내로 공급하도록 구성된다.</p> |
