实现远场超分辨聚焦的方法和装置

摘要

本发明公开了一种实现远场超分辨聚焦的方法，具体为：将由激光器出射的入射光线调制为切向偏振光；对所述的切向偏振光进行0～2π涡旋位相编码；将经过0～2π涡旋位相编码后的切向偏振光进行远场超分辨聚焦，从而实现远场聚焦和横向超分辨，满足可见光超分辨聚焦特别是扫描共焦显微微的需求。本发明还公开了用于上述的实现远场超分辨聚焦的方法中的相应的装置。本发明方法简单，适用范围广，横向聚焦效果优于现有技术；本发明装置系统结构简单，成本低廉，具有普适性，尤其适合应用在精密或超精密微观观测测量设备特别是扫描共焦显微镜中。

主权项

一种实现远场超分辨聚焦的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将由激光器出射的入射光线调制为切向偏振光；(2)将所述的切向偏振光通过一个涡旋分布的0～2π位相板，实现对所述的切向偏振光进行0～2π涡旋位相编码；(3)将经过0～2π涡旋位相编码后的切向偏振光通过高数值孔径的消复色差透镜进行远场超分辨聚焦，所述的高数值孔径NA＝1～1.4。